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RFID（無線射頻識別）技術(shù)在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用非常廣泛，它通過非接觸式的自動識別和數(shù)據(jù)采集，為半導(dǎo)體制造過程的追蹤、管理和優(yōu)化提供了有效的解決方案。以下是一些具體的應(yīng)用案例：
圖一 AH-LC-V640
1. 生產(chǎn)過程追蹤和控制：
- 在半導(dǎo)體生產(chǎn)線上，RFID技術(shù)可以追蹤晶圓盒的物料型號、規(guī)格和加工流程等信息，實現(xiàn)生產(chǎn)過程的精確控制和調(diào)整。
- 通過在晶圓盒上部署TI玻璃管標簽，半導(dǎo)體RFID讀寫器能夠識別標簽內(nèi)的信息，
從而對生產(chǎn)過程進行實時監(jiān)控。
2. 晶圓硅晶片清洗環(huán)節(jié)：
- 清洗區(qū)域內(nèi)的TI玻璃管標簽被半導(dǎo)體RFID讀寫器讀取，以確定晶圓硅晶片的信息和到達清洗位的時間。
- 清洗完成后，記錄清洗時間，并對已清洗的晶圓硅晶片進行標記，然后將信息上傳到管理系統(tǒng)。
3. 晶圓盒存儲柜管理：
- 半導(dǎo)體RFID讀寫器嵌入存儲柜，自動上傳晶圓盒的存取信息和時間到管理系統(tǒng)，并實時更新數(shù)據(jù)庫。
4. 半導(dǎo)體電子貨架管理：
- 電子貨架上的半導(dǎo)體RFID讀寫器自動讀取晶圓盒信息，并在顯示屏上顯示晶圓產(chǎn)品的部分種類信息。
- 當晶圓盒被取走，讀寫器無法讀取標簽時，會在顯示屏上顯示產(chǎn)品已被取走。
5. 半導(dǎo)體天車站點識別與搬運管理：
- 天車上安裝的半導(dǎo)體RFID讀寫器讀取軌道節(jié)點處的RFID標簽，獲取天車行車位置信息，進行實時監(jiān)測和調(diào)度。
- 當搬運FOUP晶圓盒時，確保所搬運的晶圓盒準確無誤，并將信息上傳到管理系統(tǒng)。
RFID應(yīng)用環(huán)境之一OHT
6. 崇越石英制造廠案例：
- 崇越石英制造廠利用RFID技術(shù)實現(xiàn)生產(chǎn)流程的可視化，通過在作業(yè)工單上釘付RFID標簽，并在制程出入口架設(shè)讀取設(shè)備，
記錄作業(yè)工單的進出時間，從而掌握產(chǎn)品在各個制程中的實際耗時。
7. NEC崇越石英RFID入退場管理系統(tǒng)：
- 該系統(tǒng)通過自動讀取作業(yè)工單上的RFID標簽，讓制程可視化，并幫助管理層了解每種產(chǎn)品在各制程中的實際耗時，找出瓶頸并進行改善。
8. RFID技術(shù)在保證生產(chǎn)效率和發(fā)現(xiàn)潛在問題方面的應(yīng)用：
- 在FOUP盒上植入RFID標簽，通過半導(dǎo)體讀寫器實時監(jiān)測和反饋信息，實現(xiàn)自動化生產(chǎn)，減少人工干預(yù)，提高響應(yīng)效率，并在問題發(fā)生時能夠追溯原因。
9. RFID在半導(dǎo)體車間AGV搬運機器人的應(yīng)用：
- AGV小車上安裝RFID讀寫器，通過讀取軌道節(jié)點的RFID載碼體信息，實現(xiàn)物料的無人化運輸管理和實時監(jiān)控。
10. RFID半導(dǎo)體產(chǎn)線應(yīng)用：
- 工業(yè)RFID讀卡器如AH-LC-V640被用于半導(dǎo)體行業(yè)的生產(chǎn)線，通過RFID技術(shù)對生產(chǎn)線進行智能化改造，提高生產(chǎn)效率。
這些案例展示了RFID技術(shù)在半導(dǎo)體行業(yè)中的多樣化應(yīng)用，從生產(chǎn)流程的自動化管理到質(zhì)量監(jiān)控，再到物料搬運和庫存管理，RFID技術(shù)都發(fā)揮著重要作用。通過這些應(yīng)用，
半導(dǎo)體制造企業(yè)能夠提高生產(chǎn)效率、降低成本、提升產(chǎn)品質(zhì)量，并實現(xiàn)智能化管理。
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